薄膜晶體管（TFT）陣列制造技術

引言
一、 平板顯示——人類智慧之窗
二、 薄膜晶體管的技術特點
第一章 TFT-LCD生產線建設
1.1 TFT-LCD項目準備工作
1.2 投資估算
1.3 廠房建設
1.4 淨化系統
1.5 信息管理系統
1.6 技術管理系統
1.7 TFT陣列製造的主要設備
1.8 TFT陣列製造的設計技術和研發

第二章 TFT元件的結構及特點
2.1 場效應晶體管的工作原理
2.2 非晶硅TFT的結構與特點
2.3 TFT陣列
2.3.1 TFT與像素、子像素和顯示格式
2.3.2 TFT與像素間距
2.2.3 TFT與亮度
2.3.4 TFT與對比度
2.3.5 TFT與開口率
2.3.6 TFT與響應速度
2.3.7 TFT與閃爍
2.3.8 TFT的寄生電容與交叉串擾
2.3.9 TFT陣列的等效電路
2.3.10 TFT-LCD顯示器TFT的主要參數

第三章 TFT工藝概述
3.1 陣列工藝的主要設備
3.2 陣列工藝的主要原材料

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