太陽能光伏產業‧硅材料系列教材：多晶硅生產技術‧項目化教程

　　《太陽能光伏產業‧硅材料系列教材：多晶硅生產技術‧項目化教程》主要講述了改良西門子法生產多晶硅的製備原理及生產過程。內容包括三氯氫硅的合成、精餾提純；三氯氫硅氫還原製備高純硅、尾氣干法回收、硅芯的製備等核心內容，同時對氣體的製備與淨化、四氯化硅的綜合利用與處理、純水的製備、硅烷法製備高純硅做了詳細介紹。《太陽能光伏產業‧硅材料系列教材：多晶硅生產技術‧項目化教程》緊密結合生產實踐，注重了理論與實踐的有機結合。
　　《太陽能光伏產業‧硅材料系列教材：多晶硅生產技術‧項目化教程》可作為本科和高職院校太陽能光伏產業硅材料專業教材，同時也可作為中專、技校和從事多晶硅生產的企業員工的培訓教材，還可供相關專業工程技術人員學習參考。

緒論
0.1 改良西門子法生產多晶硅
0.2 其他多晶硅生產方法
項目一 氣體的製備與淨化
任務一 氣體的製備
任務二 氣體淨化
小結
習題和思考題

項目二 三氯氫硅的合成
任務一 液氯汽化
任務二 氯化氫的合成
任務三 三氯氫硅的合成
小結
習題和思考題

項目三 三氯氫硅精餾提純
任務一 精餾提純原理及相關計算
任務二 精餾提純設備
任務三 精餾提純工藝
任務四 精餾提純操作
任務五 設備、管道的檢修
任務六 故障處理
任務七 三氯氫硅中雜質含量的分析
小結
習題和思考題

項目四 三氯氫硅氫還原製備高純硅
任務一 三氯氫硅氫還原工作原理 
任務二 三氯氫硅氫還原工藝、核心設備結構及操作
任務三 設備、管道保養與維護
任務四 還原工序常見故障判斷與處理
任務五 三氯氫硅氫還原工序產品質量要求及控制
任務六 還原生產中熱能的綜合利用
任務七 高純材料及半導體
相關知識
小結
習題和思考題

項目五 尾氣干法回收
任務一 還原尾氣干法回收的基本原理
任務二 還原尾氣干法回收工藝流程
任務三 尾氣干法回收主要設備
任務四 設備準備及安全檢查
任務五 尾氣干法回收原輔材料準備
任務六 尾氣干法回收關鍵及核心設備操作
任務七 尾氣回收故障處理
任務八 設備、管道保養與維護
小結
習題和思考題

項目六 四氯化硅的綜合利用與處理
任務一 四氯化硅的性質
任務二 四氯化硅氫化回收
任務三 四氯化硅處理的其他技術
小結
習題和思考題

項目七 硅芯的製備與腐蝕
任務一 硅芯的製備
任務二 硅芯腐蝕
小結
習題和思考題

項目八 純水的製備
任務一 純水製備原理
任務二 純水製備工藝流程
任務三 純水製備系統主要設備及工作原理
任務四 純水製備系統操作
任務五 純水的測量
任務六 其他純水製備法及流程
小結
註釋
習題和思考題

項目九 硅烷法製備高純硅
任務一 硅烷的性質
任務二 原料的制取及處理
任務三 硅烷的發生
任務四 硅烷的提純
任務五 硅烷熱分解製備多晶硅
小結
習題和思考題
參考文獻